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Grenoble INP
Se former tout au long de sa vie
Un seul objectif : l'évolution des compétences
Se former tout au long de sa vie

Initiation à la fabrication en salle blanche

Mis à jour le 1 juin 2017
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Présentation

  • Ville : GRENOBLE
    Tarif : 2 250 € / personne
    Durée : 3 jours

Résumé

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Objectifs

• Avoir une vue d’ensemble de la fabrication des circuits intégrés : les différentes étapes et la logique de leur enchainement
• Découvrir l’environnement d’une salle blanche et l’utilisation des équipements associés
• Mettre en œuvre les différentes étapes de fabrication de composants transistor à partir d’un substrat de silicium
• Manipuler les moyens de caractérisation associés aux différentes étapes et à la validation du fonctionnent final

Spécificités

Nos atouts pédagogiques

Cette formation s’appuie sur les moyens techniques que met à disposition l’école Phelma de Grenoble INP et en particulier sa filière Physique Nanosciences (PNS) et Nanotech. Elle se déroule en grande partie au sein de la salle blanche de la plateforme CIME, unique plateforme de ce type en France dédiée à la formation.
Les intervenants sont chercheurs et enseignants-chercheurs permanents au laboratoire IMEP LAHC.


Les plus de la formation :

• La formation est essentiellement pratique. Les apports théoriques se font au fur et à mesure des manipulations
• Deux jours entiers en salle blanche pour pratiquer les différentes étapes de fabrication
• Une demi-journée pour pratiquer sur les outils de caractérisation électrique

                          

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Admission

  • Ville : GRENOBLE
  • Tarif : 2 250 € / personne

Conditions d'admission

Personnes concernées

Ce stage s'adresse à des techniciens, des ingénieurs, des commerciaux en contact avec le monde de la microélectronique par leurs activités professionnelles (par exemple des entreprises fournisseurs d'équipements pour salle blanche).
Il n’est pas destiné à former des opérateurs en salle blanche mais à apporter une vision globale des procédés mis en œuvre dans cette filière et à faire découvrir l’environnement d’une salle blanche.

Pré-requis : connaissances de base des phénomènes de la physique et la chimie (niveau Bac ou équivalent)

Effectif : 4 à 8 personnes

Contacts

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Programme

  • Durée des études : 3 jours

Programme

 1- Rappels théoriques

  • oxydations thermiques,
  • lithographie et techniques de gravures,
  • techniques de dopage,
  • techniques de dépôts de films en couches mince.
2- Présentation de la salle blanche
  • nettoyage chimique des plaques,
  • chargement dans le four d'oxydation : oxydation épaisse.
3- Lithographie
  • lithographie : ouverture des zones actives,
  • nettoyage des plaques,
  • chargement dans le four d'oxydation : oxydation mince,
  • dépôt polysilicium,
  • lithographie : gravure silicium polycristallin.
4- Mesures et traitements complémentaires
  • mesure des grilles au MEB/Alphastep,
  • implantation ionique,
  • nettoyage des plaques,
  • recuit d'implantation,
  • chargement dans le four LTO : dépôt LTO.
5- Gravure LTO
  • lithographie : gravure LTO,
  • nettoyage des plaques,
  • chargement dans le bâti de dépôt aluminium par pulvérisation cathodique.
6- Gravure de l'aluminium
  • dépôt aluminium,
  • lithographie : gravure de l'aluminium,
  • mesures électriques.

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International

  • Stage à l'étranger : Non
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Débouchés

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Rédigé par Francois Miller

mise à jour le 1 juin 2017

Renseignements stages courts

Katia Plentay - 04 76 57 45 03
formation-continue.stages(a)grenoble-inp.fr

Inscription

Renseignements formations sur mesure

Dominique Lecomte – 04 76 57 50 48
formation-continue.stages(a)grenoble-inp.fr
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