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Caractérisation des couches minces par rayons X

Mis à jour le 6 avril 2018
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Présentation

  • Ville : GRENOBLE - Campus
    Durée : 3,5 jours

Résumé

Mat14

Objectifs


• Connaître les principes physiques associés aux techniques de diffraction des rayons X et de réflectométrie X
• Appréhender les spécificités des mesures de diffraction des rayons X en incidence rasante et de réflectivité X sur les films minces
• Acquérir une première expérience pratique permettant de choisir les conditions opératoires les mieux adaptées au matériau étudié
• Savoir traiter et interpréter les données expérimentales

Nos atouts pédagogiques


Cette formation est organisée en collaboration avec l’INSTN.

Elle s’appuie sur les moyens techniques que met à disposition Grenoble INP au travers de sa plateforme de caractérisation des matériaux, le CMTC (Consortium des Moyens Technologiques Communs)  qui regroupe différents diffractomètres de rayons X, notamment un PANalytical X’Pert PRO MPD doté des optiques adaptées à ces techniques.

Les intervenants sont des ingénieurs permanents de la plateforme CMTC et du CEA LETI, spécialistes de ces techniques d’analyse.


Les plus de la formation


• Près de la moitié de la formation se déroule sous forme de travaux pratiques en petits groupes (maximum 5 personnes sur un instrument)
• Etude d’un panel d'échantillons variés pour se familiariser avec les diverses conditions opératoires
• Possibilité de travailler sur son propre échantillon si celui-ci est envoyé aux formateurs au moins 2 semaines avant le début de la formation.
                        

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Admission

  • Ville : GRENOBLE - Campus

Conditions d'admission


Personnes concernées

Cette formation s'adresse à des chercheurs, ingénieurs, ou techniciens supérieurs de laboratoires publics ou industriels, travaillant dans le domaine des matériaux, souhaitant mettre en œuvre ces techniques de caractérisation des couches minces par rayons X ou en exploiter les résultats. Des secteurs aussi variés que les semi-conducteurs, le traitement des surfaces, la galvanoplastie... sont par exemple concernés.

Pré-requis : connaissances de base sur la structure de la matière (niveau bac+2). Même si les principes de base sont rappelés lors du stage, une connaissance préalable, voir une pratique de la diffraction des rayons X sur poudre sont un plus pour profiter de la formation. 

Effectif : 4 à 8 personnes

Contacts

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Programme

  • Durée des études : 3,5 jours

Programme


1- Diffraction X en incidence rasante
• rappels de cristallographie et de radiocristallographie,
• rappels sur l’analyse de phase,
• diffraction des rayons X en incidence rasante,
• montage faisceau parallèle / montage Bragg-Brentano,
• spécificités de la diffraction des rayons X en incidence rasante : profondeur de pénétration, analyse des contraintes mécaniques et impact sur l’analyse de texture.

2- Réflectométrie X
• principes et intérêts de la réflectométrie X aux petits angles,
• diffusion spéculaire / hors spéculaire,
• Les relations fondamentales de la réflectométrie X en mode spéculaire,
• Mesures de densité, d’épaisseur et de rugosité ; Applications substrat / films minces / multicouches,
• Introduction à la diffusion des rayons X hors direction spéculaire,
• Choix des configurations expérimentales.

Exemple de sujets traités lors des travaux pratiques :
• procédures d’alignement,
• choix des conditions opératoires : diffraction des rayons X en incidence rasante / réflectométrie X,
• traitement des données et interprétation.

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International

  • Stage à l'étranger : Non
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Débouchés

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Rédigé par Katia Plentay

mise à jour le 6 avril 2018

Communauté Université Grenoble Alpes