Aller au menu Aller au contenu
Grenoble INP
Se former tout au long de sa vie
Un seul objectif : l'évolution des compétences
Se former tout au long de sa vie

Traitements de surfaces par plasma

Mis à jour le 25 août 2017
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Présentation

  • Ville : GRENOBLE
    Tarif : 2 350 € / personne
    Durée : 5 jours

Résumé

Mat05

Les notions abordées par ce stage seront utilisées pour aborder l'étude des principaux types de réacteurs plasma, radiofréquence et micro-onde, et des procédés de traitement de surface qui peuvent leur être associés.

Elles seront illustrées par trois manipulations à effectuer sur différents réacteurs plasma.

Parmi celles-ci, la pratique de procédés de dépôt et de gravure et une présentation d'un dispositif optique fournissent une introduction aux applications industrielles

Objectifs

Plasma

Acquérir des notions de base sur :
  • la production et la caractérisation des plasmas froids
  • les mécanismes d'interaction plasma-surface

Spécificités

Une présentation de diagnostic (suivi de procédés par spectrométrie d'émission) est effectuée par un intervenant industriel.

Le contenu et la durée de ce stage peuvent être adaptés au besoin spécifique des entreprises (formule intra-entreprise).

De même une initiation peut être proposée sur une à deux journées, à la demande.

    
Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie - LPSC
Groupe Plasma-Matériaux-Nanostructures

 

A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Admission

  • Ville : GRENOBLE
  • Tarif : 2 350 € / personne

Conditions d'admission

Ce stage s'adresse à des ingénieurs, techniciens et chercheurs.

Effectif : de 6 à 15 personnes.

Contacts

A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Programme

  • Durée des études : 5 jours

Programme

Initiation au plasma

  • définitions, fonction de distribution
  • effet collectifs en plasma illimité
  • plasma limité (diffusion,pertes)

Interactions Plasma
Générateur R.F. (13,56 MHz)

  • architecture de la boite d'accord
  • effet des modes de couplage (capacitif, inductif)
  • exemples industriels
  • définitions, fonction de distribution
  • effet collectifs en plasma illimité
  • plasma limité (diffusion,pertes)

Production de plasmas froids

  • décharges continues
  • décharges basse fréquence et radiofréquence
  • décharges micro-onde

Méthodes de diagnostic optique

  • dispositif expérimental
  • spectroscopie d'émission
  • spectroscopie d'absorption

Introduction à l'interaction particules-surface

  • interaction neutres thermiques – surface
  • interaction ions-surface
  • interaction plasma-surface

Modèles d'interaction plasma-surface

  • adsorption et désorption
  • mécanismes et cinétiques de réactions

Dépôt et traitement de polymères par plasmas
  • propriétés physiques et chimiques des dépôts
  • fonctionnalisation des surfaces de polymères
  • réalisations industrielles, tendances

Interaction plasma-polymères

  • mécanismes et cinétiques de réactions
  • mécanismes fondamentaux
  • cinétiques de croissance-modélisation

Croissance de films minces en plasma
  • processus fondamentaux en CVD assistée par plasma
  • dépôts de diamant
  • dépôts de films de carbone amorphe adamantin

Applications des plasmas aux traitements thermochimiques et dépôts CVD assistés
  • traitements thermochimiques : mécanismes de base et exemples : nitruration, carburation, oxydation
  • dépôts CVD assistés : processus fondamentaux et exemples de dépôts à caractère mécanique


Applications des techniques plasmas à la microélectronique
  • gravure plasma
  • choix du réacteur de gravure
  • exemple de gravure d'un contact


A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

International

  • Stage à l'étranger : Non
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Débouchés

A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentTélécharger au format PDFEnvoyer cette page par mail Partagez cet article Facebook Twitter Linked In Google+ Viadeo

Rédigé par Francois Miller

mise à jour le 25 août 2017

Contact et inscription

Katia Plentay
04 76 57 45 03
formation-continue.stages(a)grenoble-inp.fr
Communauté Université Grenoble Alpes
×
Afin d'améliorer la qualité de ce site et le service rendu à l'utilisateur, nous utilisons des cookies de mesure d’audience. En poursuivant votre navigation sur ce site, vous acceptez l'utilisation de cookies à cette fin. Pour en savoir plus